생명 공학, 광학 장치 절단을 위한 전고체 나노초 UV 레이저
Aug 02 , 2022High energy! All-solid-state nanosecond UV laser for cutting bioengineering, optical devices
UV lasers are mainly used for drilling, cutting, scribing and marking. It reflects its unique advantages in laser processing: the ultraviolet laser has a short wavelength and small focus, and can achieve fine processing; the ultraviolet laser directly destroys the chemical bonds of the material during laser processing, which is a "cold" processing process and a small heat-affected zone: most The material can effectively absorb ultraviolet light and can process many materials that cannot be processed by infrared and visible light lasers. All-solid-state UV lasers have the advantages of small size, high efficiency, high repetition frequency, no gas replacement, no mask, and easy maintenance. Therefore, it has been widely used in bioengineering, material preparation, all-optical optical device fabrication, especially in the laser processing fields of integrated circuit boards and semiconductor industries.
현재 자외선 레이저의 발전은 매우 빠르다. 와트 수준 이상의 고반복 주파수 전고체 레이저는 가공에 지속적으로 사용됩니다. 국내외 연구기관 및 기업들은 계속해서 고출력(수십와트), 고반복 주파수(수십~수십와트)를 개발하고 있다. 100kHz) 방향. 현재 펄스 폭 25ns의 5W, 50kHz UV 355nm 레이저를 성공적으로 개발했습니다. 안정적인 성능의 시제품이 제작되었습니다. LED 사파이어 웨이퍼 슬라이버의 스크라이빙에 사용됩니다. 스크라이브 깊이는 200μm에 달하고 선폭은 10μm 미만이며 스크래치가 매끄럽고 균일하며 열 영향부가 거의 없습니다.
현재 UV 355nm 레이저의 국제 시장 가격은 약 $20,000/W이며, 중 및 고출력 전고체 UV 레이저 시장은 외국 제조업체가 점유하고 있습니다. 업계 협회의 통계에 따르면 2010년 우리나라 전고체 자외선 레이저 시장의 판매액은 5억 위안에 도달하여 2009년에 비해 25% 증가했습니다. 현재에 따르면 레이저 다이싱 머신을 예로 들 수 있습니다. 시장 수요에 따라 전통적인 레이저 다이싱 기계의 일반 판매량은 연간 100대이며 그 중 60%는 자외선 전고체 레이저로 대체됩니다. 레이저 마킹기의 국내 연간 수요는 약 4,000대입니다. 전고체 UV 레이저가 시장 점유율의 30%를 대체할 대만.
기본 모드 적외선 1064nm 레이저는 고효율 종단면 펌핑 구조를 통해 얻은 다음 다단 증폭 구조를 통해 고출력 적외선 고빔 품질의 기본 주파수 광을 얻은 다음 고출력 효율 주파수 변환 기술, 5W, 50kHz, 25ns 펄스 자외선이 최종적으로 얻어집니다. 355nm 레이저.