WaferLase II로 NGS 플로우 셀 생산 간소화

로봇 웨이퍼 핸들링 시스템은 SmartCleave 유리 절단 기술을 통합합니다.

새로운 Coherent WaferLase II는 차세대 시퀀싱(NGS) 플로우 셀 제조에서 처리량을 크게 증가시키는 자동 유리 절단 솔루션입니다. WaferLase II는 기계식 톱보다 10배 이상 빠르게 유리를 절단하기 위해 초단파 펄스 레이저를 사용하는 고유한 SmartCleave 기술을 통합합니다. SmartCleave는 또한 파편 생성을 크게 제거합니다. 이는 후처리를 최소화하고 비용을 절감하며 보다 환경 친화적인 생산 솔루션을 제공합니다. 또한 SmartCleave는 균열 및 응력 없는 절단면을 제공하여 품질과 수율을 향상시킵니다.

WaferLase II는 로봇 웨이퍼 처리 시스템, 웨이퍼 정렬을 위한 비전 시스템, 레이저 소스, 빔 전달 광학 장치, 제어 및 인터페이스 소프트웨어로 구성됩니다. 일반적으로 시스템에 수동으로 로드되는 FOUP의 부품을 수용하도록 구성됩니다. 그러나 로드 포트와 부품 처리 로봇은 모두 특정 고객 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다.  

SmartCleave는 원래 터치스크린 디스플레이용 얇은 유리 절단용으로 주로 개발되었습니다. 이 기술은 차세대 시퀀싱(NGS) 플로우 셀과 같은 더 두꺼운 유리 및 특수 응용 분야를 지원하도록 확장되었습니다. 이 검증된 기술의 기반은 코히런트가 업계에서 인정받는 중요한 레이저 및 빔 전달 전문 지식입니다.

자외선 레이저  | 녹색 레이저  | 자외선 레이저  | 자외선 dpss 레이저  | 나노초 레이저  | UV 레이저 소스  | 고체 레이저

웨이퍼레이저 II

WaferLase II는 생산 라인 직원이 사용할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스와 함께 고급 유리 절단 및 자동화 기능을 제공합니다. 또한 Semi GEM300 표준을 내부적으로 구현하여 더 높은 수준의 자동화로의 마이그레이션을 위한 간단한 경로를 제공합니다. 

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